09:00 〜 09:15 [17a-301-1] レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡による4H-SiCウエハ及び酸化膜の局所特性評価 中西 英俊1、〇西村 辰彦1、藤田 雄也1、北村 藤和1、水端 稔1、川山 巌2、斗内 政吉2 (1.SCREEN、2.阪大レーザー研)