17:00 〜 17:15 [16p-E206-12] 分子動力学・有限要素法を用いた半導体デバイスの微細パターン座屈解析 〇輿石 健二1、齋藤 玲子1、伊藤 祥代1、田村 陽平2、今泉 俊介2、高本 聡2、泉 聡志2 (1.東芝、2.東京大院工)