09:00 〜 09:15 △ [17a-502-1] 溶液法IGZO薄膜におけるGa比率が酸素空孔密度に与える影響 〇(M1)落合 祐輔1、森本 貴明1、福田 伸子3、大木 義路1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研、3.産総研FLEC)