09:15 〜 09:30 △ [17a-502-2] 溶液法で作製したIGZO薄膜に対する紫外光照射と熱処理の影響 〇高森 悠圭1、落合 祐輔1、森本 貴明1、福田 伸子3、大木 義路1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研、3.産総研FLEC)