16:15 〜 16:30 △ [16p-E206-10] ラマン分光法を用いたトレンチ近傍の異方性2軸応力評価 〇鈴木 貴博1、横川 凌1、大麻 浩平2、西脇 達也2、浜本 毅司2、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.(株)東芝)