11:30 〜 11:45 [16a-E206-11] スピンオンドーパント個相拡散によるミニマルSOI-CMOS作製 〇柳 永シュン1、古賀 和博1,2、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、松川 貴1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技組)