16:30 〜 16:45 [14p-213-7] 基板バイアス印加スパッタ法における再結晶化現象とμmサイズVO2結晶粒成長 〇松岡 耕平1、アズハン ヌル― ハニス1、沖村 邦雄1 (1.東海大工)