15:00 〜 15:15 [15p-315-8] SiO2/Al2O3/AlGaN/GaN MIS-HEMTの閾値電圧に与えるAl2O3膜厚の効果 〇久保 俊晴1、座間 秀昭2、小林 忠正2、江川 孝志1 (1.名工大、2.アルバック)