13:30 〜 13:45 [14p-211-1] 大振幅非線形振動領域におけるテラヘルツ検出用GaAs MEMS両持ち梁構造ボロメータの信号検出 〇(M2)細野 優1、張 亜1、長井 奈緒美1、平川 一彦1,2 (1.東大生研、2.東大ナノ量子機構)