[14a-503-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [14a-503-3] r面サファイア基板上スパッタリング成膜AlNバッファ層の結晶品質と熱処理効果

〇大槻 隼也¹、神野 大樹^1,2、大長 久芳²、上山 智¹、竹内 哲也¹、岩谷 素顕¹、赤﨑 勇^1,3 (1.名城大理工、2.小糸製作所、3.名大赤﨑記念研究センター)

キーワード：r面サファイア、スパッタリング、熱処理効果