[14a-512-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[14a-512-1] Print and Imprint法に向けたピコ秒パルスレーザーによる異なるエンジニアリングプラスチックフィルムへの貫通孔の形成加工

関 健斗¹、〇中村 貴宏¹、永瀬 和郎²、中川 勝¹ (1.東北大多元研、2.（株）ミノグループ)

キーワード：レーザー穴あけ加工、薄膜、ポリマー

我々は光ナノインプリントの残膜厚制御のために、光硬化性液体の塗布に孔版印刷を用いたPrint and Imprintを提案している。粘性液体の印刷用孔版として、4種類のエンジニアリングプラスチックのフィルムを対象としてピコ秒パルスレーザーによる貫通孔の形成を検討した。貫通孔の平均孔径は、レーザー波長532 nmにおける透過率が小さいほど増大した。加工痕形状、薬品耐性、耐熱性の観点から、ポリイミドが好適であると結論付けた。