[14p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[14p-412-1] NVセンターによるパワーデバイス内部電界の定量計測

〇岩崎 孝之^1,2、成木 航¹、田原 康佐^1,2、ヘナト アミチ¹、牧野 俊晴^2,3、加藤 宙光^2,3、小倉 政彦^2,3、竹内 大輔^2,3、山崎 聡^2,3、波多野 睦子^1,2 (1.東工大、2.CREST、3.産総研)

キーワード：電界計測、パワーデバイス、NVセンター