[14p-P3-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

△ [14p-P3-19] 移動体制御による慣性センサ評価系の構築

〇(M2)權田 惇晟^1,4、高安 基大^1,4、山根 大輔^1,4、伊藤 浩之^1,4、小西 敏文²、道正 志郎^1,4、石原 昇^1,4、年吉 洋^3,4、町田 克之^1,2,4、益 一哉^1,4 (1.東工大、2.NTT-AT、3.東大、4.JST-CREST)

キーワード：慣性センサ、移動体制御、評価系