[15a-422-1~12] 3.13 半導体光デバイス

[15a-422-11] 薄膜積層構造の熱伝導減少効果を考慮した面発光レーザの熱抵抗解析

〇(M1)三村 正樹¹、宮本 智之¹ (1.東工大未来研)

キーワード：半導体レーザ、面発光レーザ、光無線給電

面発光レーザ(VCSEL)アレイの高効率・高出力密度化には, デバイス熱抵抗の高精度設計が必要である. 熱抵抗設計は比較的容易に解析できるため, VCSELの熱抵抗解析も多数の報告例がある. 一方で, DBR厚さ程度以下の薄膜積層構造では, バルク材料の熱伝導率から大きく特性が変わるという報告がある. 今回, この薄膜積層構造の熱伝導減少効果が, VCSELのデバイス熱抵抗にどのように影響するのかを解析したので報告する.