[15a-512-1~12] 3.7 レーザープロセシング

[15a-512-12] ピコ秒パルス列の時間変調によるガラスの局所溶融現象とその抑制

〇中村 晃直¹、坂倉 政明²、下間 靖彦¹、三浦 清貴¹ (1.京大院工、2.京大産連本部)

キーワード：ピコ秒レーザー、局所溶融、時間変調

超短パルスレーザーを用いると局所的に非線形光吸収を起こして局所的に固体を溶融することができるが、ガラスを溶融するためには大きなパルスエネルギーが必要であるため、しばしばガラス内部にクラックが生成してしまうという欠点がある。そこで我々は、レーザーパルス毎のエネルギーを時間的に変調することで改善できると考え、変調後のクラック生成しきい値と熱影響領域の幅の変化について検証、考察した。