[15a-P9-1~4] 13.7 ナノ構造・量子現象

[15a-P9-2] 分光エリプソメトリによる異種ナノ粒子混合積層膜の評価

〇村上 拓也¹、金 大貴²、脇田 和樹³、沈 用球¹ (1.阪府大院工、2.阪市大院工、3.千葉工大工)

キーワード：ナノ粒子、誘電率スペクトル、分光エリプソメトリ

半導体ナノ粒子は、量子サイズ効果を用いた応用に加え、光散乱が小さいことから光学薄膜用材料としての研究も進められている。これまで我々は、分光エリプソメトリを用いて、半導体ナノ粒子の積層膜において、量子サイズ効果が誘電率スペクトルに与える影響について研究を行ってきた。本研究では、ZnSeとZnSの異種ナノ粒子混合積層膜を作製し、その混合比を変えることで、積層膜の誘電率スペクトルを制御できることを明らかにした。