[15p-311-1~18] 6.4 薄膜新材料

△ [15p-311-10] 酸化物DSAに向けた酸化物薄膜の自己組織化ナノ構造に与えるテンプレートパターンの影響

〇譚 ゴオン¹、李 明宇¹、中川原 修²、服部 梓¹、田中 秀和¹ (1.阪大産研、2.株式会社村田製作所)

キーワード：自己組織化ナノ構造、複合酸化物、誘導自己組織化

複合酸化物薄膜の3次元ナノヘテロ構造の研究において、ある酸化物薄膜中に別の酸化物がナノピラーとして自己組織的に生成することが報告されている。しかし、ナノ構造の位置や配列を制御することが大きな課題となっていた。本研究では、ナノインプリント法により人工的に作製したテンプレートパターンを有する基板を用いることで酸化物ナノ構造の位置制御や高秩序化を可能にする酸化物DSAの開発を目的としている。