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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

2017年3月15日(水) 13:15 〜 18:15 412 (412)

赤坂大樹(東工大)、大越康晴(電機大)、中村挙子(産総研)

15:00 〜 15:15

△ [15p-412-7] 酸素プラズマ処理に対する各種DLC表面の変化

〇(B)間山竜也¹、渡邉博之¹、平塚傑工²、坪井仁美²、中森秀樹²、本間章彦¹、平栗健二¹、大越康晴¹ (1.東京電機大学、2.ナノテック（株）)

キーワード：非晶質炭素膜、酸素プラズマ処理