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[16a-E206-1] 局所クリーン化ミニマルPLAD環境コントロールシステム(Ⅱ)
キーワード:ミニマルファブ
我々は、ミニマルファブの局所クリーン化搬送システムにおける前室システムの研究開発を行っている。前報告で、前室に供給するクリーンエア流量を圧力変動に応じて制御し、内部の差圧を一定に保つシステムを提案した。本報告では、この方法がクリーン化に本当に必要かどうかを検証した。その結果、前室内部の体積変化を受動的に補償して圧力コントロールを行う方法に比べ、クリーン化性能において優れていることが分かった。