09:00 〜 09:15
〇谷島 孝1,2、安井 政治1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)
谷島 孝
発表者・著者、共著者
2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 E206 (E206)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2017年3月16日(木) 09:00 〜 12:15 E206 (E206)
09:00 〜 09:15
〇谷島 孝1,2、安井 政治1,2、クンプアン ソマワン1,2、前川 仁1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ)