[16a-P1-1~40] 1.2 教育

[16a-P1-35] プラズマベースイオン注入法の理解のためのシミュレーションソフト(PEGASUS)の初歩的な応用

〇水胤 友宏¹、狩野 卓也¹、岡 聡明¹、平田 良樹¹、角川 幸治¹、山城 朱音¹、國近 栄梨子¹、田中 武¹ (1.広工大)

キーワード：プラズマベースイオン注入法、ペガサス

プラズマベースイオン注入(PBII)法は、プラズマに浸された試料に、負の高圧パルス電圧を印加する表面改質法である。本研究では、プラズマベースイオン注入法理解をするために、Arの高周波放電のためのシミュレーションを行い、初歩的な理解を目的とした。