09:30 〜 11:30 [16a-P1-35] プラズマベースイオン注入法の理解のためのシミュレーションソフト(PEGASUS)の初歩的な応用 〇水胤 友宏1、狩野 卓也1、岡 聡明1、平田 良樹1、角川 幸治1、山城 朱音1、國近 栄梨子1、田中 武1 (1.広工大)