[16a-P1-1~40] 1.2 Education

[16a-P1-35] Preliminary Application of simulation software (PEGASUS) to a Plasma-Based Ion Implantation

〇Tomohiro Mizutane¹, Takuya Kano¹, Satoaki Oka¹, Yoshiki Hirata¹, Koji Kakugawa¹, Akane Yamashiro¹, Eriko Kunichika¹, Takeshi Tanaka¹ (1.Hiroshima Institute of Technology)

Keywords:Plasma-Based Ion Implantation, PEGASUS

プラズマベースイオン注入(PBII)法は、プラズマに浸された試料に、負の高圧パルス電圧を印加する表面改質法である。本研究では、プラズマベースイオン注入法理解をするために、Arの高周波放電のためのシミュレーションを行い、初歩的な理解を目的とした。