[16p-E206-1~17] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16p-E206-13] センサ・アレイのシミュレーションに向けた領域分割法の検討

〇松澤 一也¹、田中 貴久^1,2、内田 建^1,2 (1.慶大TRDEC、2.慶大電子工)

キーワード：半導体、センサ、領域分割法

半導体センサにおいて、３次元デバイス・シミュレーションを用いると、検出したい分子の電荷と構造による感度を、予測することができる。複数種類の分子の電荷と構造が、電気的特性に与える影響を解析するには、複数種類のセンサをアレイ状に配置する必要がある。このようなアレイ形状を３次元シミュレーションで解析するには、多くのメモリを必要とする。本報告では、解析領域を分割して、実用的なメモリ領域で、計算する技術を示す。