2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16p-E206-1~17] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2017年3月16日(木) 13:45 〜 18:30 E206 (E206)

嵯峨 幸一郎(ソニー)、森 伸也(阪大)、蓮沼 隆(筑波大)

17:30 〜 17:45

[16p-E206-14] 量子補正ボルツマン輸送方程式によるGeおよびSiナノワイヤpMOSFETの準バリスティック正孔輸送能力の解析

田中 一1、須田 淳1、木本 恒暢1 (1.京大院工)

キーワード:量子補正ボルツマン輸送方程式、ナノワイヤ、ゲルマニウム

原子論的なモデルに基づき,量子補正ボルツマン輸送方程式を解くことで,GeおよびSiのナノワイヤpMOSFETにおける準バリスティック正孔輸送特性を解析した.GeナノワイヤpMOSFETはトンネルによるリーク電流は大きいものの,オフ電流を抑えるため閾値をシフトした条件下でもSiより大きなオン電流を示した.これは,Geの移動度の高さから期待される透過確率の高さでは無く,注入電流の大きさに由来することがわかった.