PDF ダウンロード スケジュール 16 いいね! 1 コメント (0) 10:00 〜 10:15 [17a-313-5] 高温での窒化ガリウム低損傷塩素エッチングに及ぼす添加ガス効果 〇今村 真人1、劉 沢城1、潘 佳林1、谷出 敦3、石川 健治1、竹田 圭吾1、近藤 博基1、小田 修1、関根 誠1、堀 勝2 (1.名大院工、2.名大未来社会創造機構、3.SCREENホールディングス) キーワード:半導体、プラズマエッチング、窒化ガリウム