17:00 〜 17:15 [20p-221C-12] 三フッ化塩素ガスによる炭化珪素薄膜形成装置クリーニング方法開発 ―純化処理を施した熱分解炭素被膜の三フッ化塩素ガス耐腐食性― 〇倉島 圭祐1、羽深 等1、伊藤 英樹2、三谷 慎一2、高橋 至直3 (1.横国大院工、2.ニューフレアテクノロジー、3.関東電化工業)