16:00 〜 16:15 [21p-135-12] 有機アンモニウム塩の電解による半導体洗浄用アルカリ液の開発(第2報)-有機カチオン種による次亜塩素酸イオン分解反応メカニズムの解明- 〇金井 隆宏1、長嶋 裕次1、平林 英明2、平川 雅章3 (1.芝浦メカトロニクス(株)、2.東芝マテリアル(株)、3.(株)東芝生産技術センター)