17:00 〜 17:15 [21p-135-16] バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄装置における水流の設計 〇松尾 美弥1、宮崎 賢都1、奥山 将吾1、羽深 等1、後藤 昭広2 (1.横国大院工、2.プレテック)