15:15 〜 15:30 [21p-233-9] ミニマルファブを活用したCOMS-MEMS融合デバイスの開発 〇柳 永シュン1、田中 宏幸1,2、古賀 和博2、クンプアン ソマワン1,2、長尾 昌善1、松川 貴1、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマル推進機構)