[18a-224B-1~10] 17.3 層状物質

△ [18a-224B-7] 原子層WS₂化学気相堆積成長のその場観測

〇(D)李 超¹、金子 俊郎¹、加藤 俊顕^1,2 (1.東北大院工、2.JSTさきがけ)

キーワード：WS2、合成、その場観測

グラフェンと同様な原子オーダー厚みを持つ単層遷移金属ダイカルコゲナイド(TMD)は，直接遷移バンド構造由来の明瞭な発光特性を示ことから，新規透明フレキシブル半導体デバイスへの応用が期待されている. 本研究では，TMD合成機構解明を目的に，結晶成長位置の制御が可能となる独自のAuドット技術を用い，さらに，光学観測装置と熱CVD合成装置を組み合わせすることにより，WS₂結晶成長の様子のその場観測に成功した．また，結晶成長の理論モデルを構築し，結晶成長その場観察結果と精度良い一致が得られた．