[18p-136-1~15] 3.7 レーザープロセシング

△ [18p-136-7] フェムト秒レーザ還元直接描画法における熱蓄積の影響

〇(M1)西谷 健太¹、秦 誠一¹、溝尻 瑞枝² (1.名大院工、2.長岡技科大)

キーワード：フェムト秒レーザ、パターニング、熱電材料

CuO/NiO混合ナノ粒子を原料としたフェムト秒レーザ還元描画において，パターンへの総入射エネルギーを変化させて，p型（Cu₂O/NiO）・n型（Cu-Ni）の熱電微細パターンを選択的に作製した．熱蓄積がパターン還元度に与える影響を調査するため，レーザフルエンスと描画速度を変化させたときの特性を評価した．その結果，熱履歴が還元度に大きく影響することを見出した．更に，本手法を用いた高感度な熱電対の直接描画にも成功した．