[18p-146-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　～窒化物プロセス技術の新展開～

[18p-146-4] 触媒表面基準エッチング法による窒化ガリウム基板の無歪平坦化

〇佐野 泰久¹、有馬 健太¹、山内 和人¹ (1.阪大院工)

キーワード：窒化ガリウム、研磨、CARE