[18p-212A-1~14] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [18p-212A-8] メアンダライン電極フォトニック結晶光変調器の高速動作

〇雛倉 陽介¹、新井 宏之¹、馬場 俊彦¹ (1.横国院工)

キーワード：光変調器、フォトニック結晶

RF信号を遅延させるメアンダライン電極と終端抵抗を導入した，フォトニック結晶導波路 (PCW) Si光変調器の高速動作を報告する．メアンダライン電極によりスローライトとRF信号の位相不整合が解消され，周波数応答が改善した．通常電極は遮断周波数19 GHzであったが，遅延線長L_d = 1186 µmのとき31 GHzに達した．40 Gbps変調実験では，L_d = 804 µm，駆動電圧V_pp = 2.9 V，V_DC = -3 Vのとき，消光比3.0 dBの明瞭なアイ開口が観測された．