[18p-PA2-1~20] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA2-7] ニオブ・タングステンドープ酸化バナジウム膜の形成と評価

西 純平¹、北野 玲¹、萩原 敦¹、氷室 貴大¹、〇齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：ボロメータ、相転移、酸化バナジウム

大きい抵抗温度係数(TCR)を得られる二酸化バナジウム(VO₂)膜はボロメータの検知部素材として用いられている。しかし、相転移の起こる温度が約68℃と高く、ヒステリシスが存在する等の問題がある。タングステン(W)とニオブ(Nb)をドープして、相転移の温度を室温付近へシフトさせ、室温のTCRを大きくすることによる性能向上を目指す。NbとWのドープ量を変化させた試料を作製し、抵抗率-温度特性を測定した。