[18p-PA3-1~4] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[18p-PA3-4] 接合したシリカガラス間のOH基拡散に対する理論解のフィッティングによる解析

〇(M1)青木 裕亮¹、荒川 優¹、葛生 伸¹、堀越 秀春²、杉山 雄哉¹、堀井 直宏³ (1.福井大、2.東ソー・エスジーエム、3.福井高専)

キーワード：非晶質

拡散係数のOH濃度に対する比例係数の温度依存性をアレニウスプロットしたとき、有水ガラスと無水ガラスで1100°C以上の高温で違いが生じた。それが解析方法に基づく誤差による可能性もあるため、理論解のフィッティングを用いて拡散係数を求める方法を考案し，検証を試みた。