[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン（ポスター）

△ [18p-PB3-93] MoS₂とグラフェンの積層によるナノ電気機械共振器の熱膨張の抑制

〇井上 太一¹、望月 裕太¹、竹井 邦晴¹、有江 隆之¹、秋田 成司¹ (1.阪府大工)

キーワード：グラフェン、二硫化モリブデン、電気機械共振器

ナノ電気機械共振器は、共振周波数の高さと制御性から高感度力センサや発振器への応用が期待できる。しかし熱に敏感なため温度変化による周波数シフトが課題である。そこでひずみや欠陥による熱膨張の抑制が検討されているが、これらは精密な制御が必要で共振特性の悪化が懸念される。本研究では正負逆の熱膨張係数(TEC)を持つグラフェンとMoS₂ の積層により熱膨張を相殺し、共振周波数の温度依存性が小さい電気機械共振器を実現した。