PDF ダウンロード スケジュール 35 いいね! 0 コメント (0) 09:30 〜 09:45 [19a-146-3] AlGaN系材料に対するTMAHウェットエッチングのAlNモル分率依存性 〇(M1)安江 信次1、佐藤 恒輔1,3、川瀬 雄太1、池田 隼也1、櫻木 勇介1、岩山 章1、岩谷 素顕1、上山 智1、竹内 哲也1、赤崎 勇1,2 (1.名城大理工、2.名大赤崎記念研、3.旭化成) キーワード:半導体、ウェットエッチング