[19a-PA4-1~13] 3.7 レーザープロセシング

[19a-PA4-5] ポリカーボネート上シリコーン塗布膜表面に形成したF₂レーザー誘起SiO₂改質膜のクラック抑制

〇野尻 秀智¹、大越 昌幸² (1.レニアス、2.防衛大)

キーワード：シリコーン、フッ素レーザー、光化学改質

ポリカーボネート上に塗布したシリコーン樹脂に、メッシュマスクを介してF₂レーザーを照射し、クラックフリーのSiO₂を形成することができたが、100℃以上の温度において耐熱性試験を行うと、レーザー照射部周辺にクラックが多数発生した。耐熱性試験を行う前にレーザー照射表面をスチールウールで擦ることによりクラックを抑制できること、および、直交方向に擦ることにより、クラック抑制効果をさらに高められることを見出した。