[19p-234A-1~10] 7.3 微細パターン・微細構造形成技術

[19p-234A-5] 高加速度電圧でのトップビューSEM観察による逆テーパーレジストパターンの底部幅の推定

〇黒内 正仁¹、安井 学¹、金子 智¹ (1.神奈川産技総研)

キーワード：電子線リソグラフィ、リフトオフ