[19p-CE-5~17] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [19p-CE-17] 高温でMgイオン注入されたGaNの特性評価

〇高橋 昌大¹、田中 敦之^2,3、宇佐美 茂佳¹、安藤 悠人¹、出来 真斗²、久志本 真希¹、新田 州吾²、本田 善央²、天野 浩^2,3,4,5 (1.名大院工、2.名大未来材料・システム研究所、3.物質・材料研究機構、4.名大赤﨑記念研究センター、5.名大VBL)

キーワード：イオン注入