[19p-PB1-1~37] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[19p-PB1-8] 全固体薄膜電池作製・in-situ評価装置の構築

〇白木 将¹ (1.日工大)

キーワード：薄膜、全固体電池、真空

全固体リチウム電池は、高いエネルギー密度、出力、安全性を兼ね備えた次世代の高性能蓄電池として期待されている。しかし、電解質/電極界面にける界面抵抗が大きいという問題がある。本研究では、正極、固体電解質、負極の各薄膜を積層した全固体薄膜電池に着目し、イオン伝導機構の解明に理想的な電解質/電極界面を作製するため、試料を一度も大気暴露しない全真空プロセスによる全固体薄膜電池作製・評価システムを構築した。