多結晶シリコンPL像中の転位領域の多層パーセプトロンによる推定

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[20a-133-3] 多結晶シリコンPL像中の転位領域の多層パーセプトロンによる推定

〇工藤博章¹、松本哲也¹、沓掛健太朗²、宇佐美徳隆³ (1.名大院情報、2.名大未来社会創造機構、3.名大院工)

キーワード：多層パーセプトロン、転位、多結晶シリコン

本報告では，多層パーセプトロン(MLP)による学習を行うことにより，多結晶シリコンウェハ内の転位領域を抽出する手法について検討した．1枚のウェハを用いた学習と3枚のウェハを用いた学習について，画像内での大きさ（入力次元）を変更した時の結果について，報告する．