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[20a-133-2] The relationship between detection of dislocation clusters in multicrystalline silicon through image processing of macro PL images and carrier recombination
Keywords:dislocation, multicrystalline silicon
多結晶シリコン太陽電池の効率化のためには、変換効率を下げる主要因となる転位クラスターの発生・増殖を制御することが重要である。そこで我々は多結晶ウェーハのフォトルミネッセンス画像を画像処理することで、網羅的な転位クラスター検出を行った。本研究では、インゴット内の転位クラスターの発生点を正確に特定することを目指し、表面パッシベーションおよびイメージング測定の空間分解能の転位検出への影響を検討した。