[20a-225B-1~11] 【CS.4】 3.11 フォトニック構造・現象, 3.12 ナノ領域光科学・近接場光学のコードシェアセッション

△ [20a-225B-7] 原子層堆積法による窒化チタンナノシリンダーアレイの耐熱性誘電体被覆と熱酸化抑制

〇(M1)呉屋 伸哉¹、村井 俊介¹、藤田 晃司¹、田中 勝久¹ (1.京大院工)

キーワード：原子層堆積法、窒化チタン、熱耐久性

ガラス基板上に形成した窒化チタン(TiN)ナノシリンダーアレイに対し、ALDにより酸化アルミニウム(Al₂O₃)あるいは窒化ケイ素(Si₃N₄)で被覆を行った。大気雰囲気下において、さまざまな温度で熱処理したアレイの光透過率測定と走査型電子顕微鏡（SEM）観察を行ったところ、透過率測定から被覆による熱耐久性の向上が、また、SEM観察から加熱後のナノシリンダーの形状の維持が示された。