[20a-234A-1~11] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20a-234A-8] 【注目講演】非極性ZnO/ZnMgO多重量子井戸を用いた紫外光変調器の開発(II)

〇阿部 友紀¹、岩ケ下 翔平¹、木村 大希¹、笠田 洋文¹、安東 孝止¹、市野 邦男¹、赤岩 和明¹ (1.鳥取大工)

キーワード：紫外線光変調器、ZnO/ZnMgO量子井戸

本研究ではZnOを用いた紫外光変調器の実現を目指し，r面サファイア基板上に分子線エピタキシー（MBE)法を用いて成長した非極性ZnO/ZnMgO量子井戸を用いて紫外光変調器を作製した。作製した紫外光変調器のバイアス印加光透過測定において，変調度30%を超える光変調動作を検証したので報告する。