2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[20a-PA4-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2018年9月20日(木) 09:30 〜 11:30 PA (イベントホール)

09:30 〜 11:30

[20a-PA4-10] 電子線リソグラフィー法による横型スピンバルブ素子の創製とエピタキシャルbeta-FeSi2層への電気的スピン注入

堺 研一郎1、石本 浩起2、田部井 哲夫3、吉武 剛2 (1.久留米高専、2.九州大学、3.広島大学)

キーワード:鉄シリサイド半導体、スピントロニクス、電気的スピン注入