[20a-PA6-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-PA6-4] パワーデバイス用Si結晶中のライフタイム制御欠陥の挙動に
関する第一原理解析

〇(M1)土屋 大輝¹、末岡 浩治¹、山本 秀和² (1.岡県大、2.千葉工大)

キーワード：半導体