[20p-141-1~13] 強誘電HfO₂技術の最新動向　～プロセス・物性からデバイス・回路応用まで～

[20p-141-10] 強誘電体HfO₂によるロジック・メモリデバイスの新展開

〇小林 正治¹ (1.東大生研)

キーワード：強誘電体、低消費電力