[20p-222-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-222-17] CH₃CNのArマイクロ波プラズマ分解で生成したa-CN_x:H薄膜の構造解析

〇関崎 千歳¹、董 福¹、斎藤 秀俊¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技科大工)

キーワード：窒化炭素、薄膜